Optimisation des techniques de microfabrication sur diamant - HAL-SHS - Sciences de l'Homme et de la Société
Communication Dans Un Congrès Année : 2019

Optimisation des techniques de microfabrication sur diamant

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Sciences de l'Homme et Société Micro et nanotechnologies/Microélectronique Matériaux
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Soumis le : mercredi 23 octobre 2019-16:55:35

Dernière modification le : mercredi 13 décembre 2023-18:07:00

Archivage à long terme le : vendredi 24 janvier 2020-20:21:21

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Dates et versions

halshs-02329822 , version 1 (23-10-2019)

Identifiants

  • HAL Id : halshs-02329822 , version 1

Citer

Lya Fontaine, Karine Isoird, Josiane Tasselli, Alain Cazarré, Patrick Austin, et al.. Optimisation des techniques de microfabrication sur diamant. Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-nanoélectronique (JNRDM 2019), Jun 2019, Montpellier, France. pp.691 - 697. ⟨halshs-02329822⟩

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